爐體尺寸

φ1700*H1300

有效空間

φ1300 *H900

最大工件尺寸*數量

φ150 * 24個

標準配置

陰極弧10個/中頻4對/平面靶2個

工作電壓/頻率

400V±10%/50Hz

實際功率

150KW

應用技術

ZP+PMB+ARC+LZY（選配）

靶材數量

圓柱靶8個/平面靶2個/弧源10個

極限壓力

8.0×10^-4Pa

漏率

<10^-3Pa.L/s

抽氣時間

大氣到6X10^-3 <25分鐘

真空系統

分子泵、羅茨泵、旋片泵

標準涂層效果

IP黑，玫瑰金，IP金，寶石藍，香檳金，

炫銀，咖啡色，七彩，槍黑色，鋯金，玫

瑰紅等

電源類型

直流逆變電源、脈沖偏壓電源、中頻磁控

電源、直流磁控電源

工件轉架結構

下轉架結構

真空室結構

立式單開門

生產周期

0.5-2小時/爐

外圍尺寸

L 4000 *W4000*H 2500MM

應用

裝飾鍍鍍膜、DLC膜

配套條件

循環水壓力：2-3KG/CM³

水量：10T/H  

壓縮空氣：4-6 KG/CM³

控制方式

手動+半自動+全自動一體化/觸摸屏+PLC

自己開發的鍍膜專用軟件

工作氣體

Ar、N₂、C₂H₂等

備注

設備可按客戶產品或特殊工藝要求訂做，以上信息僅供參考。

顏色

金色

香檳

咖啡色

玫瑰紅

寶石藍

鉻白

銀灰

槍黑

超黑

厚度（μm）

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

0.3~2.0

硬度（HV）

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

300~900

鹽霧測試

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

> 48H

硬度（HV）

厚度（μm）

橡皮耐磨

鹽霧測試

顏色

800~1000

0.8~2.5

1000次以上

48H以上

裝飾度色系